韓、半導体素材の「技術独立」…続々と成果

SKハイニックスは今月から国産フッ酸液を投入 

  • 半導体核心3素材の輸入依存度


SKハイニックスが今月から生産ラインに国産液体フッ化水素(フッ酸液)を投入するなど、国内半導体業界の素材多様化の努力が実際の成果につながっている。 2日の半導体業界によると、SKハイニックスは去る1日から量産ラインに投入したフッ酸液は、国内の中小企業のラムテクノロジー(RAM TECHNOLOGY)社の技術製品だと伝えられた。

SKハイニックスは同社と昨年から、フッ酸液の供給のために調整してきたと伝えられた。 SKハイニックスは現在、また異なる国内企業ともフッ酸液の採用テストを進めていることが分かった。

この日、ユ・ミョンヒ通商交渉本部長が国会産業通商資源中小ベンチャー企業委員会の国政監査で明らかにしたところによると、7月以降の日本の半導体・ディスプレイの核心素材3品目の対韓輸出許可件数は計7件に過ぎないことが分かった。

産業通商資源部は先月30日、エッチングガス1件、フッ素ポリイミド1件、フォトレジスト3件など計5件が輸出許可を受けたと明らかにしたが、先月30日にサムスン電子とSKハイニックスがそれぞれ1件ずつ申請したエッチングガスの輸出許可件数が追加で確認された。特にエッチングガスに比べて使用量が多いフッ酸液は、国内メーカーが申請してからほとんど90日が過ぎたが一件の許可も出ず、業界では少なからず心配している。業界関係者は、「SKハイニックスは追加のテストが完了しだい、国産フッ酸液製品を量産ラインに追加採用するものと見られる」とし、「国内企業が保有している素材在庫量はまだ枯渇を心配するレベルではないが、韓国と日本両国の葛藤がこのように長期化の兆しを見せており、このような傾向はさらに加速するだろう」と説明した。

日本政府の輸出規制品目の中で最も代替材を見つけることが困難だろうと予想されたエッチングガスも国産化が進んでいる。国内メーカーが量産したエッチングガスは、早ければ今年末にDRAMとNAND型フラッシュメモリの工程に本格的に活用されるものと思われる。サムスン電子は国産高純度フッ化水素の一部に対し、さまざまな工程でサンプルテストを実施することが分かった。

業界などによると、国内メーカーのSKマテリアルズとソルブレイン(Soulbrain)は、最尖端の半導体プロセスで使用される99.999%(ファイブナイン)級の高純度フッ化水素の国産化に着手しており、かなりの成果を収めたと思われる。 SKマテリアルズは今月中に生産ラインの工事発注を開始して、今年中にサンプルを量産する計画であることが分かった。

半導体より低純度のフッ化水素を使用するディスプレイ業界は、すでにすばやく多様化を進めている。LGディスプレイは先月初め、エッチングガスについては日本産の原料を代替できる製品のテストを終え、一部の有機発光ダイオード(OLED)と液晶表示装置(LCD)の量産ラインなどに適用した。

LGディスプレイは高純度フッ化水素の国産原料を基本にした製品のテストを終えて、一部のOLEDとLCDの量産ラインなどに適用したことが分かった。LGディスプレイは国産化のために二ヶ月間の代替フッ化水素テストを行ったが、当初の予想よりも早くテストを終えた。テストの過程でも原価や収率、ラインの安定化などに問題がないことが判明した。 LGディスプレイは今月内にフッ化水素の100%国産化を控えたと伝えられた。サムスンディスプレイも最近、国産液体フッ化水素テストを完了しており、近いうちに生産ラインに投入する予定だと伝えられた。
  • 毎日経済_チョン・ギョンウン記者/ファン・スンミン記者 | (C) mk.co.kr
  • 入力 2019-10-02 17:25:33