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SKハイニックス、ネオンガスを2024年までに100%国産化


SKハイニックスが半導体製造工程の必須の素材だが、これまで中国産に主に依存してきた「ネオン(Ne)ガス」の国産化を加速させている。SKハイニックスは5日、現在40%水準の国産ネオンの使用の割合を2024年までに100%に拡大する計画だと明らかにした。

国内半導体業界はネオンガスの大半を輸入に依存している。

だが、今年初めから続いたロシア・ウクライナ戦争がネオンガスの需給を難しくした。

産業通商資源部によると昨年、韓国企業が輸入したネオンガスのうち28%がウクライナ(23%)・ロシア(5%)産だ。この地域情勢が不安になりネオンガスの価格が急騰した。第2四半期の中国産ネオンガスの平均1トン当たりの輸入価格は228万ドルで、第1四半期の平均輸入価格である35万ドルの6.5倍だった。

これに対しSKハイニックスはネオンガス需給安定化のために国内半導体ガス製造企業であるTEMC、ポスコと協力してネオンガスの国産化に乗り出した。空気中の希薄なネオンを採取するためには大規模な空気分離装置(ASU)プラントが必要なため莫大な投資費用がかかる。これを克服するため3社は既存設備を活用して少ない費用でネオンガスを生産する技術を開発した。このように作られたネオンガスはポスコが生産してTEMCが加工した後、SKハイニックスに供給される。

SKハイニックスは4月から半導体露光工程に国産ネオンガスを使用した。現在、全体使用量の40%を国産ネオンへと代替した。SKハイニックスは2024年にはこの割合を100%に増やす方針だ。

また、SKハイニックスは露光工程後、回路外の不要な部分を削るエッチング工程の必須素材であるクリプトン(Kr)とキセノン(Xe)ガスも来年6月までに国産化する計画だ。クリプトンとキセノンもやはりロシア・ウクライナからの輸入の割合が相当だ。昨年、全体クリプトンのうちウクライナ物量は31%、ロシア物量は17%水準だった。キセノンの場合、ウクライナ産が18%、ロシア産が31%で半分近くを占める。

サムスン電子もネオンガスの自立に乗り出している。具体的な割合は明らかにしなかったがサムスン電子も最近、ポスコからネオンガスの一部供給を受け始めたという。サムスン電子は、この他にも別途投資を通じて半導体用ガスの自立率を高めるための作業を進めているという。
  • 毎日経済 | オ・チャンジョン記者
  • 入力 2022-10-05 17:18:56




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