韓アイワンス社、「クォーツ」を国産化…日本製よりも耐久性4倍



「来年には日本から輸入していた半導体製造装置の部品素材であるクォーツ(Quartz )を置き換えることができる新素材の量産に入る」。

先週、京畿道安城市にあるアイワンス(IONES)本社で会ったイ・ムンギ代表(写真)は「韓国セラミック技術院と一緒に3年あまりのあいだ研究した末にクォーツの代替素材であるアイコニック(ICONiC)の開発に成功した」とし、「プラズマエッチングでクォーツよりも4倍以上の耐性があるという評価を得たが、半導体製造でのエッチング工程時に必要な消耗品のひとつであるフォーカスリングには最初はクォーツを適用するつもり」だと説明した。

半導体エッチング工程は、フォト工程を経て回路を刻んだウェハから、回路を除いた不要な部分をプラズマなどで除去する工程だ。リング状のフォーカスリングはエッチング工程装置の中でウェハーをつかんで、プラズマがウェハーの正確な位置に均一に集まるようにする役割を果たす。フォーカスリングのような消耗部品は高温・高圧などの厳しい環境にさらされ、容易にすり減るために定期的に交換しなければならない。消耗部品を交換するには工程を停止し、エッチング装置内を再度洗浄しなければならないが、この時に費用が発生することから耐久性の高い消耗部品素材が必要だ。現在、フォーカスリング素材にはほとんどケイ酸(SiO2)で構成されたクォーツ素材が多く使われる。ところが今回のアイワンスがクォーツを代替できる素材である「アイコニック」を開発したわけだ。

イ・ムンギ代表は「ガラスに別の組成を混ぜてプラズマにかなり強い物質であるアイコニックを作った」とし、「部品ごとに異なるが、クォーツリングは約300時間ごとに交換するが、アイコニック素材を使用すると使用時間が4倍ほど長くなりだろう」と強調した。アイワンスは現在、アイコニック素材を採用したフォーカスリングの量産準備段階に入った状態で、来年の下半期には半導体製造・装置メーカーに納品できるものと期待している。業界ではクォーツ素材の世界市場規模を1兆2000億ウォンと推算している。

1993年に設立後、半導体装置の精密加工部品と洗浄・コーティング事業が主力のアイワンスは、半導体装置の耐ガス噴射部品であるシャワーヘッドなどの精密加工部品をサムスン電子に納品している。洗浄・コーティング分野でも、国内市場でのシェアは約30%に達する。イ代表は「私たちの会社は半導体部品の加工だけでなく、洗浄後のコーティングを同時に進める会社」だとし、「競合他社と比較して単価と納期短縮に競争力がある。現在は世界的な半導体製造装置のメーカーと業務協約を締結し、取引先の多様化を模索中」だとした。

イ代表は昨年9月に会社を辞めたが、4年6ヶ月ぶりに経営に復帰した。会社の成長のために専門経営者に会社を任せたが、財務構造が悪化して成長が遅滞するやいなや再び本人が直接乗り出したわけだ。会社に復帰した後、収益を出せないビジネスを果敢に整理して人的刷新に乗り出し、年50億ウォンのコストを削減した。おかげで今年の売上げも第3四半期現在、1122億ウォンを記録して前年同期比で約20%成長し、営業利益は85億ウォンで黒字転換した。
  • 毎日経済_アン・ビョンジュン記者 | (C) mk.co.kr
  • 入力 2020-12-22 17:45:13