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サムスン電子の李副会長、蘭ASML社を電撃訪問
EUV露光装置の確保目的か？
李在鎔（イ・ヂェヨン）サムスン電子副会長（右第3）と金奇南（キム・ギナム）サムスン電子部品ソリューション（DS）部門長（副会長・右第4）が13日（現地時間）、オランダのフェルトホーフェンのASML本社でピーター・ヴェニンクASML最高経営責任者（CEO・右第2）とマルティン・ファン・デン・ブリンクASML最高技術責任者（CTO・右端）などのASML関係者に説明を聞きながら、極紫外線（EUV）露光装置を見ている。 [写真提供=サムスン電子]
李在鎔（イ・ヂェヨン）サムスン電子副会長は、半導体の核心装置のサプライヤーであるオランダのASML社を訪問し、極紫外線（EUV）装置の供給案を議論した。最尖端の半導体製造に不可欠なEUV装置を先制的に確保して、次世代の成長動力であるファウンドリ（半導体受託生産）分野での競争力を強化するための動きとして解釈される。
李副会長は14日午前、ヨーロッパ出張から帰国した。去る8日にチャーター便で出国した李副会長は、スイスとオランダを経て6泊7日間の日程を消化した後、この日の午前に金浦空港に到着した。
サムスン電子によると李副会長は13日（現地時間）、オランダのフェルトホーフェンに拠点を置くASML社を訪問し、ピーター・ヴェニンク最高経営責任者（CEO）、マルティン・ファン・デン・ブリンク最高技術責任者（CTO）などに会って次世代半導体技術開発のための協力強化の方案を議論した。
李副会長とヴェニンクCEOは7ナノメートル（1ナノメートルは10億分の1メートル）以下の最尖端の半導体製造に不可欠なEUV装置の供給計画をはじめ、人工知能（AI）などの将来の半導体のための次世代製造技術の開発協力方案を議論した。またポストコロナ19の対応のための未来の半導体技術戦略と関連しても意見を交わした。この日、李副会長はASMLの半導体製造装置の生産工場も訪れて、EUV装置の生産状況を直接調べることもした。今回の会合にはサムスン電子DS部門長である金奇南（キム・ギナム）副会長が同行した。
李副会長の海外出張は去る5月の中国・西安の半導体工場を訪問後の5ヶ月ぶりだ。業界では、コロナ19が再拡散しており、司法リスクも続くなかで電撃再開されたグローバル経営の目的地がEUV装置の供給を独占しているASMLという点に注目している。これに関連し、サムスン電子はファウンドリ分野でグローバル1位のTSMCとの熾烈な受注競争を繰り広げているだけに、EUV装置を先制的に確保してTSMCとの「ファウンドリ対決」で主導権を握るための布石だという分析が出ている。
李副会長は過去にも先進的な設備を確保するために直接動いたことがある。 2016年、有機発光ダイオード（OLED）の蒸着装置の確保競争が激しくなると、日本に直接飛んでキヤノンと長期契約を成功させた。これを土台に、サムスンディスプレイは小型OLEDディスプレイパネルの市場で80％を上回る圧倒的なシェアを確保した。
EUV装置はシリコンウェーハ上に光で回路のパターンを刻み込む露光工程に使用される。極紫外線を光源として使用する場合、既存のフッ化アルゴン（ArF）光源よりも微細な回路パターンを描いけることから、半導体の性能と効率を大幅に向上させることができる。このことからAIや5世代（5G）移動通信と自律走行などに必要な最尖端の高性能・低消費電力・小型の半導体を製造するために必須の装置としてあげられる。 EUV装置が半導体市場の「ゲームチェンジャー」と呼ばれる理由だ。
問題はEUV装置の供給が制限的だという点だ。 ASML以外のベンダーがまだ登場していないからだ。1台当たりの価格が1500億ウォンを超えるほど超高価だが、なくて売れないほどだ。
サムスン電子とTSMCはEUV装置を確保するために熾烈な競争を繰り広げている。半導体業界と外国メディアによると、ASMLのEUVの年間生産能力は40台ほどで、このうちサムスン電子が確保できる量は年間10台前後と伝えられた。- 毎日経済＿ノ・ヒョン記者／パク・チェヨン記者 | (C) mk.co.kr | 入力 2020-10-14 17:42:36
