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LGディスプレイ、超音波を活用したコーティング装置を世界初開発
LGディスプレイが超音波を活用した大面積ディスプレイコーティング装置「超音波フローティングコーター（Ultrasonic Floating Coater）」を世界に先駆けて開発したと8日、明らかにした。
超音波フローティングコーターは、ディスプレイ内のマスクにパターンを形成するフォトエッチングの過程に超音波を適用してコーティングする装置だ。既存の空気を利用したエアフローティングコーターより超薄型の基板をより安全に浮上させることができ、構造が単純でメンテナンスが容易であるという利点がある。
特に全量を輸入に依存していたエアフローティングコーターを韓国の国産技術に置き換えることができ、コスト削減効果が大きいという説明だ。LGディスプレイは、超音波フローティングコーターを第8世代の製造工程に導入する場合、コストを37％、エネルギーを77％削減することができると明らかにした。
今回の開発は、LGディスプレイが去る2013年に新技術装備公募制度を介してパートナーであるKCTechの開発提案を受けて開始された。両社は、約1年6カ月の研究開発と、6カ月のプロセス、性能評価などを経て、量産性を確保して、最終的に開発に成功した。超音波フローティングコーターの工程内への導入は、今年の下半期から本格化される予定だ。
超音波フローティングコーターは、ディスプレイ内のマスクにパターンを形成するフォトエッチングの過程に超音波を適用してコーティングする装置だ。既存の空気を利用したエアフローティングコーターより超薄型の基板をより安全に浮上させることができ、構造が単純でメンテナンスが容易であるという利点がある。
特に全量を輸入に依存していたエアフローティングコーターを韓国の国産技術に置き換えることができ、コスト削減効果が大きいという説明だ。LGディスプレイは、超音波フローティングコーターを第8世代の製造工程に導入する場合、コストを37％、エネルギーを77％削減することができると明らかにした。
今回の開発は、LGディスプレイが去る2013年に新技術装備公募制度を介してパートナーであるKCTechの開発提案を受けて開始された。両社は、約1年6カ月の研究開発と、6カ月のプロセス、性能評価などを経て、量産性を確保して、最終的に開発に成功した。超音波フローティングコーターの工程内への導入は、今年の下半期から本格化される予定だ。
- 毎経ドットコム キム・ヨンヨン記者 | (C) mk.co.kr
- 入力 2015-09-08 10:01:06
